- ISO/TR 15969:2001
- изд.1 F TC 201/SC 4Химический анализ поверхности. Глубокое профилирование. Измерение глубины напыления—————раздел 71.040.40
Стандарты Международной организации по стандартизации (ИСО). Каталог (в 2-х частях). — М.: ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ». 2008.